半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体技术高性价比公测生活配套涉重废气——MVR强制性无限循环零排活动
建设项目背景图
半导体技术行业中高档首测好工程,市场规模150立米米/天,是第一例半导体技术行业首测智能化涉重污废气 零排好工程。首测节点的镀镍、镀铜、引线框架结构清洁工作会诞生含镍含铜污废气 ,园林需求"无尾水外排",产水全部循环于产线。
水体质量特殊性与存在的问题
污水以含镍居多(溶度10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH起伏较大大(2–12),还光刻胶残留物的一定量有机会物。测封厂地点紧,的标准补救的设施征占小;零排意思着浓水不可以清运更多,需要本地网减压蒸馏沉淀反馈控制。
加工处理工学院艺路线地图
总体走"分质搜集 → 预处置除杂 → 生物滤渣除镍 → 过滤系统 → UF+两极RO → MVR强迫循坏化掉 → 冷疑水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢阳极氧化物钠出现Ni(OH)₂沉积,多加硫化橡胶橡胶钠纵深气体吸附残余物镍(硫化橡胶橡胶镍Ksp比氢阳极氧化物镍更小,里能镍压到0.1毫克/升一下);
析出留水经多材质吸附程序+物业保安吸附程序后进UF,再进二级RO,产水直接的回产线洗涤;
RO浓水(含盐+稳定度血本属)进MVR強制重复多效冷凝器,強制重复能扛高含盐积垢,多效冷凝器手机一键加速网络进行维护清洁,不可以堵;
MVR冷凝水水回来使用大水池,化掉残液委外焚烧炉或对于危废处理救治,整体的园区无气态外排。
关键点机械设备优越性情况说明
MVR强行无限不断循环比起硬性降膜减压蒸馏,无限不断循环水流量高、导热面更易结镍盐/碳酸盐垢,好首测这"出水量太大但水质监测杂"的的场景;一起化撬装设计制作征地赔偿比普通减压蒸馏塘+多效减压蒸馏设计方案小60%上面;废气侧配建生态学滤池,把的调节池和生活污水间的废气分类整理后可降解成CO₂和水,尽量避免首测厂相邻工作区的其它异常的味道举报。
办理成果与效果
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远低于《电镀工艺环境破坏物直接排放标准细则》表三;全都150立米米/天产水工业废水处理于测封产线进行维护清洁,用于等量丰富水;危废处理(蒸发器残液+淤泥)量比中国传统"沉定+直接排放标准"机制减约70%。对富士康侧,测封好项目环保性许可卡点遭打通;