苏州某半导体电子器件电子器件营造厂，晶圆生产流程中生产含硅、氟的特殊性污水，结构设计加工建设规模1200吨/日。污水材质繁多，含纳米技术级硅科粒及氢氧化钠，传统式鑫霖环保很难标准。 废水处理方法化学物质及由来 最主要的水排放物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒度）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 原因步骤 ：晶圆刻蚀废液（45%）、CMP化学工业机械性镜面抛光废液（40%）、设配冲泡水（15%） 治理生产工艺步奏 自主创新采取"无机化学奠定+特种工艺膜分割"技术设备的路线： 钙盐沉淀出的 ：添加氯化钙洗去氟正离子（导出CaF2沉淀物中） 斜管沉淀池反應 ：挽回斜板沉淀池剂构建橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔经膜挪作他用微细颗粒剂 ro反渗透法系統 ：脱盐率>98%，收废率75% 多效蒸发成果 ：浓水段做到氟化物0排放物 终于疗效 氟化物浓硫酸浓度：<8mg/L（降至部委一层规定10mg/L） 硅份量：<5mg/L 水资原使用率：70%用在急冷塔补水保湿 危险废弃物减轻药量：多效蒸发食物残渣量较传统性施工工艺限制60%