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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导基带芯片生产厂在晶圆生产制造流程中,适用硅烷对其进行硅概念发展,尾气排放洗滌塔生产ab剂值含硅生产废水处理。生产废水处理兼有pH振幅大(2-11)、硅分子量高的优缺点,过去的处理方案易发现硅垢阻塞相关问题。 污废水 材质及原因 化工废水首要有效成分为: 析出性硅酸盐 :SiO₂含量达1000-1500mg/L 氢硫化钾/氢硫化钠 :洗洁塔强酸强碱洗洁液留下 小粒硅 :纳米级级SiO₂悬浊液 痕量砷 :原石残渣带 鑫霖环保技术流程步骤 什么是创新采取"多级采和+膜吸附+蒸馏析出"工艺设计: 第一与 :用CaO调整pH至4-5,添加硅酸钙水解,硅祛除率60%。 二次元采和 :加Na₂CO₃将pH发展至9,进两步乳浊液剩下的硅,并接用镁剂除砷。 反渗透膜装置 :0.02μm陶瓷图片膜净化nm级硅小粒,通量不稳定性在80LMH。 MVR真空泵器 :提液高盐工业废水,析出出Na₂SO₄副的产品,水使用率超90%。 终极作用 总硅从1500mg/L降低5mg/L之下 砷占比从0.8mg/L低于0.01mg/L 系统软件无水垢执行低于2年 每一年收旧浓盐酸钠单晶体约800吨

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