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半导体厂高浓度氨气酸性废气处理案例

某半导体器件厂氨基磺酸镍值氯气+偏酸实验室气体共同治理 投资项目 一、項目图片背景与烟粉尘作用 该厂正离子加入、吸附生产工序存在高溶液氧化还原电位二氧化氮(NH₃,溶液氧化还原电位5,000-8,000mg/m³)与偏酸的实验室气体(HCl、H₂S,溶液氧化还原电位1,000-2,000mg/m³)相混的排放物,功率10,000m³/h。二氧化氮包括强激发性,偏酸的实验室气体侵蚀性强,若随便的排放会形成了铵盐颗料物,增加位置PM2.5污染问题,且对身边农大田作物生长的引起伤害。 二、整理技术设计的 主要采用**“酸碱度中合洗涤剂+促使脱色+活性酶炭吸收”**的合作工艺流程,针性方面性满足二氧化氮与弱酸性其他气体的分工协作取除困难:

酸碱中和洗涤:废气首先进入双塔串联洗涤系统,第一塔喷淋稀硫酸(H₂SO₄)溶液,中和氨气生成硫酸铵(可回收作为化肥原料);第二塔喷淋NaOH溶液,中和HCl、H₂S等酸性气体,生成NaCl、Na₂S等无害盐类。

催化氧化:中和后的废气仍含微量NH₃与酸性气体,进入催化氧化装置,在Pt/Al₂O₃催化剂作用下,通过低温氧化(300-400℃)将残留污染物彻底分解为N₂、H₂O、CO₂。

活性炭吸附:最后通过活性炭吸附塔,捕获微量有机杂质与颗粒物,确保排放浓度≤50mg/m³(NH₃)、≤20mg/m³(HCl),满足《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-93)要求。

三、整理产品管理处主要优势

资源回收能力:硫酸铵回收系统可将中和产生的硫酸铵溶液浓缩结晶,作为农业肥料销售,年创收超50万元,实现“以废治废”的循环经济模式。

高效协同去除:双塔串联洗涤设计,可同时处理氨气与酸性气体,避免单一洗涤塔因pH波动导致处理效率下降;催化氧化装置采用抗中毒催化剂,可耐受硫化物、氨气等杂质,使用寿命超3年。

安全防爆设计:氨气与空气混合易形成爆炸性气体(爆炸极限15%-28%),洗涤塔与催化氧化装置均配备氮气吹扫、泄漏报警、紧急切断系统,确保处理过程零事故。

四、治理视觉效果与各个企业收益 工程项目投用后,氢氧化钠、HCl减排有机废气浓度分辨减至30mg/m³、10mg/m³,硝酸钠铵年回笼量超200吨,创收一千万元;附过居名匿名举报量降低95%,企业的得到“环境生活主责奖”,在县政府竞价中最优获选“绿化供应信息商”,信任和成交量相比以往持续增长30%。

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