该晶圆制作厂设在华南东北部,常见分娩8屏幕尺寸半导体芯片晶圆,平均废水处理方法的产量下跌约800吨。可能分娩进程中用很大氢氧化钠做晶圆蚀刻,导至废水处理方法中氟化物浓硫酸浓度到达200-300mg/L,远超政府的排放出的标准(10mg/L下列)。
废污水含量及收入
废液关键来自五湖四海六个流程:
晶圆蚀刻工艺
:含高氨水浓度氟化物(HF)、硝酸银及多量巨资属
耐腐蚀机械制造抛光处理(CMP)废污水
:含納米级硅颗粒状、有机化学络合剂
设施设备洗掉生产废水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等巧妙物
加工生产工艺流程步骤流程步骤
用"药剂学沉积+水泥混凝土沉积+深层过滤装置"三级视频处理体统:
考试内容一级治疗
:加药氯化钙和氢阳极氧化钙,出现氟化钙沉定,氟化物我们要除率达85%
一级办理
:增多PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),取除固体态环境空气污染物
一级处理
:实现多物质滤出器和灵活性炭过滤器过滤,有水出氟化物氨水浓度稳定性高在8mg/L以内
要素产品收录:pH自然调准系统的、斜管沉定池、板框设备(飞灰甩干)。
终结体验
内容执行两年数据库监测方案库凸显:
氟化物评均浓度值:7.2mg/L(如果低于国度标准单位)
COD剔除率:92%
淤泥含水分率:≤65%
年收购氟化钙副食品约150吨,实现目标資源化用