半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
的项目底色
该半导商家最靠近长半圆地域,重点种植8厘米和12厘米晶圆,日的排放口废水流量约2000吨。会因为种植技艺复杂性,废一般的水都有四种难溶解有机酸物和天价属阴离子,传统式净化处理手段无法满足了发展严格要求的的排放口准则。
污废水 含量及来原
生活污水首要因素于3个方面:晶圆切生活污水蕴含许多硅粉和切液杂质;耐腐蚀机械设备制造cnc精密机械加工生活污水蕴含电解质溶液硅和磨细粉末;刻蚀除污生活污水蕴含氟化物、铜阳离子等巨资属;光刻技术生活污水则蕴含光阻剂等可挥发影响物。水污染优缺点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物浓硫酸浓度高(200-400mg/L)、飘浮物多且蕴含轻微巨资属。
工作工序生产工艺流程
用到"物理化学采样+生物化学整理+广度整理"的女子组合工艺设备:
的调节池动态平衡水硬度用水量
混疑析出彻底清除浮动物和胶体溶液产品
电化学石雕文化析出法特别治理氟化物,加药钙盐行成氟化钙石雕文化析出
电离过酸池提高自己电镀废水可什么是生化性
接觸空气氧化池溶解有机质造成的环境有害特性
灵活性炭包过滤塔实施纵深处置
膜分离出来控制系统确保安全有水出水环境可靠
针对于含铜生活污水多个软件设置阴阳离子变换模式,回收公司有总价值的黑色金属铜。
结果是效用
业务建设成后正常运行可靠,有水出COD<50mg/L,氟化物有机废气氧浓度<5mg/L,铜亚铁离子有机废气氧浓度<0.3mg/L,各个技术指标均远低于欧洲国家《电子无线制造业水被污染的物污染物出原则》(GB 39731-2020)。年可下降COD污染物出约300吨,氟化物污染物出约50吨,回笼铜合金金属约2吨,改变了生态利润与生活利润的共利。