半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
业务游戏背景
该中小企业主为各国专业的半导体IC芯片首测中小企业主,地属粤西型的地方,重要执行高端定制IC芯片的划区和封裝各种测试。主要是因为内地环境的要求苛刻,中小企业主考虑执行废气零排污建设投资的项目。投资的项目于2030年无法,2025年6月建于投入运营,工作产值为200吨/日,总投资的约2000万多。
生活污水化学成分及來源
本次目的意义片区废液存在有以下显著特点:
高密度氟化物,通常产于晶圆激光切割后的擦洗道工序,氟化合物密度可高达150-200mg/L
有微米级硅粉颗粒剂,粒度多在100-500nm中
有机的负荷率较高,COD在500-800mg/L
内含微量分析天价属如铅、镉等
纯水电导率高,一般 在2000-3000μS/cm
进行处理工艺技术具体步骤
为实现关键零进行排放关键,工艺设置设置至关重要选择废污水几大类搜集和能源回收并:
废液划分分类整理体统
:将含氟污水处理方法与其它污水处理方法错开持续
化工沉定除氟
:按照有级钙盐沉垫法,做好极有效率沉垫池
层级钝化解决
:臭氧老化催化剂的作用氧化的降解塑料难治理有机质物
膜精提系統
:应用DTRO碟管式反融合,精提4的倍数为10倍
蒸发器析出
:MVR厂家缩短空气再缩短挥发器除理浓水
粗糙设备
:将沉淀盐晾干后用于轻工业副企业产品外售
治理效用
设备运营动态数据体现:
氟化物避开率>99.9%,留水氟阴离子<1mg/L
COD总洗去率>98%,出水出水COD<20mg/L
水资的回收处理率>95%,仅存在一点凝结盐
几乎每年可二手回收高口感造纸废水处理水约8万吨
析出盐饱和度高达工业企业级的标准,达到资原化利用率
的项目不仅仅实现目标了废水处理零废气,还依据产品收购創造了约80万是/年的其他的金币。