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某非常专业半导体心片手工制造客户是在长三边形的地区,主要是生產晶圆和心片。在生產时中,晶圆切开和镜面抛光时间段引发非常多考虑液工业废水,日访问量产生量约50吨。主要是因为工业废水里面的含柠檬酸铵值自动隐藏物、黑色金属铝离子及设计含有剂,会产生会对工作环境构成严峻影响,客户急用搭建非常专业除理公用设施。
废污水物质及来历
研磨设备液废液核心來源自晶圆处理中的催化自动化打磨(CMP)工艺流程,核心被污染的物例如:
漂浮顆粒物
:二钝化硅、钝化铝等抛光科粒,粒级在0.1-1μm,渗透压达2000mg/L。
金属质阴离子
:铜、铁、锌等,来源于抛光处理垫变形及晶圆表面层金属制层,铜阴离子溶液浓度约50mg/L。
生产移除剂
:比如表面上几丁质酶剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性有害物质
:pH值振幅大,基本在2-11区间内。
加工注意事项注意事项
针对于废液的特点,进行“预外理+生物化学+厚度外理”搭配组合工序:
调控池
:均衡性水硬度蓄水量,获取碱酸上下调整pH至中性粒细胞。
水泥混凝土悠长岁月中
:加药系统PAC(缔合氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),去掉悬浮物物和悬浊液,沉降后SS去掉率>90%。
促使腐蚀
:运用Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)挥发无机调用剂,COD洗去率达60%。
生物工程净化处理
:MBR膜海洋生物影响器进每一步溶解已满有机的物,COD减少为100mg/L下述。
亚铁离子更换
:特用硅橡胶物理吸附铜阴离子,冒水铜分量<0.5mg/L。
砂滤+活力性炭过滤器
:确保安全生产喷水清亮,达到《污泥整体排污细则》(GB8978-1996)三级细则。
决定成果
控制系统运营增强后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
中水回用率达40%,余量不合格直接排放出,年减小生活污水直接排放出1.10万吨。
处里直接费用约15元/吨,远高于服务业均匀。